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迪思科使用固体激光器的激光剥离设备进步蓝色LED制作功率
来源:http://www.0376rj.com 责任编辑:www.ag88.com 更新日期:2018-10-27 14:06
迪思科使用固体激光器的激光剥离设备进步蓝色LED制作功率 据了解,日本迪思科(DISCO)开发出了运用固体激光器的激光剥离(LLO)设备,在12月16~18日于东京有明世界会展中心举办的SEMICON Japan 2015上,展现了装备该设备的激光切割机DFL7560L。 激光剥离是

  迪思科使用固体激光器的激光剥离设备进步蓝色LED制作功率

  据了解,日本迪思科(DISCO)开发出了运用固体激光器的激光剥离(LLO)设备,在12月16~18日于东京有明世界会展中心举办的SEMICON Japan 2015上,展现了装备该设备的激光切割机DFL7560L。

  激光剥离是向基板上构成的资料层照耀激光,从基板上剥离资料层的工艺。用于剥离蓝色LED运用的蓝宝石基板等不具备导电性的基板上的资料层等。

  此次的激光剥离设备运用的是短脉冲固体激光器。与以往运用气体激光器的设备比较,削减了保护时刻(替换消耗品及下降光轴调理频率),完成了加工质量的安稳化。

  别的,经过选用自主开发的光学系统,能以最佳功率加工较大的焦点规模,因此能按捺晶圆损坏和剥离不良。剥离面的外表粗糙度可降至本来的1/3左右。

  

  

   LEDLED照明激光器

 
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